測(cè)試精度高:高達(dá) 100nV/10fA 分辨率,電流量測(cè)精度最高可達(dá) 0.1%+50pA,電壓量測(cè)精度最高可 達(dá) 0.015%+300uV;提供正向/反向電流連續(xù)變化測(cè)試,提高測(cè)試精度。
2)方形四探針?lè)ǎㄈ绶兜卤しǎ?/strong>
范德堡法適用于扁平,厚度均勻,任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測(cè)試。相比較直線型四探 針?lè)?,?duì)樣品形狀沒(méi)有要求。測(cè)試中,四個(gè)探針接觸點(diǎn)必須位于樣品的邊緣位置,測(cè)試接線方式也是在其 中兩個(gè)探針點(diǎn)提供恒定電流,另外兩個(gè)點(diǎn)量測(cè)電壓。圍繞樣品進(jìn)行 8 次測(cè)量,對(duì)這些讀數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)組合來(lái) 決定樣品的平均電阻率。詳細(xì)測(cè)試方法可參見 ASTM 標(biāo)準(zhǔn) F76。
總結(jié):利用 IT2800 系列高精密源/測(cè)量單元可以精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄層電阻的電阻率測(cè)試,為半導(dǎo)體制 造工藝的改進(jìn)提供數(shù)據(jù)依據(jù)。IT2800 SMU 因其高精度測(cè)量和豐富的探針臺(tái)治具優(yōu)勢(shì),為行業(yè)提供專業(yè)的 測(cè)試解決方案。